招標公告

1. 招標條件

本招標項目高精度無掩膜光刻系統(tǒng) 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對高精度無掩膜光刻系統(tǒng)采購進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20260341A012

2.2 招標項目名稱：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

2.3 數(shù)量：1臺

2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：

設(shè)備用途：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)采用先進的數(shù)字光刻技術(shù)，無需掩模版即可直接將圖形轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的襯底上。該設(shè)備具備高套刻精度和高曝光速度的特點，適用于集成光子芯片研發(fā)及量產(chǎn)環(huán)節(jié)中的電極圖形曝光：在快速研發(fā)階段，可高效處理大面積、低分辨率要求的電極圖形；在量產(chǎn)階段，因其無需定制掩模板的特性，有助于降低成本和縮短周期，實現(xiàn)高效的電極圖形曝光。

系統(tǒng)組成：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)主要由曝光系統(tǒng)，對準系統(tǒng)，環(huán)控系統(tǒng)，軟件系統(tǒng)，數(shù)據(jù)系統(tǒng)五大模塊組成。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同簽訂生效后6個月內(nèi)。

3. 投標人資格要求：

3.1 投標人須具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2 財務(wù)要求：投標人應(yīng)附2024年經(jīng)會計師事務(wù)所或?qū)徲嫏C構(gòu)審計的財務(wù)會計報表，包括審計報告正文、資產(chǎn)負債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財務(wù)報表。投標人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計的或單位內(nèi)審的2024年財務(wù)報表。

3.3 業(yè)績要求：投標人所投標設(shè)備2022年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3臺，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效的合同首頁、技術(shù)協(xié)議及驗收報告等證明材料復(fù)印件）。

3.4 信譽要求：投標人在經(jīng)營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)或中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)的查詢結(jié)果）或信譽承諾書。

3.5 本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.6 本次招標接受代理商投標，一個制造商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商的授權(quán)書原件。(本設(shè)備指“高精度無掩膜光刻系統(tǒng)”)

3.7 投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.

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編輯：365trade