項目編號 : 0762-2440CBNB2021
公布日期 : 2024-08-06
受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024年8月6日在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1. 招標條件
項目概況：甬江實驗室因發(fā)展需要，需采購單片式化學清洗機1套、全自動去膠剝離機1套、晶圓清洗機1套。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經(jīng)落實。
項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。
2. 招標內(nèi)容：
招標項目編號：0762-2440CBNB2021
招標項目名稱：甬江實驗室采購單片式化學清洗機等設備項目（重招）
項目實施
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2
全自動去膠剝離機
1套
主要用于微納器件Lift-off制備工藝中，用來去除多余的光刻膠及膠上的金屬，保留未被光刻膠覆蓋區(qū)域的金屬圖形。
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3
晶圓清洗機
1套
主要用于包括晶片爐管前后、化學氣相沉積（CVD）前后、物理氣相沉積（PVD）前后、化學機械拋光（CMP）前后，以及晶圓背部的水洗工藝，同時用于對外來晶圓的高壓水洗、刷片清潔等水洗工藝。
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*備注：投標人必須對表中所有貨物進行投標，否則作無效標處理。
3. 投標人資格要求
投標人應具備的資格或業(yè)績：投標人必須是投標產(chǎn)品的制造商或投標產(chǎn)品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；
是否接受聯(lián)合體投標：不接受；
未領購招標文件是否可以參加投標：不可以。
4.
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)?編輯：cbbiddin